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黑硅作为一种新型低反射率的硅材料,有良好的广谱吸收特性,在光电领域将有很好的应用前景。概括地介绍了黑硅的各种制备方法（飞秒激光扫描、化学腐蚀法和等离子体处理）,以及黑硅在太阳能电池、光电二极管、场发射、太赫兹发射等领域的应用。
黑硅制备及应用进展
【摘 要】
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黑硅作为一种新型低反射率的硅材料,有良好的广谱吸收特性,在光电领域将有很好的应用前景。概括地介绍了黑硅的各种制备方法（飞秒激光扫描、化学腐蚀法和等离子体处理）,以及黑
【机 构】
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中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2011年4期
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