【摘 要】
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2,1,4-重氮萘醌磺酸酯类化合物（2,1,4-DNQ）,在光照下除了发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光解,还可以产生磺酸导致聚合物发生酸解,因而可用作光产酸剂.本文制备了5种2,1,4-重氮萘醌
【机 构】
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吉林化工学院材料科学与工程学院,阜康热电有限责任公司
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2,1,4-重氮萘醌磺酸酯类化合物（2,1,4-DNQ）,在光照下除了发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光解,还可以产生磺酸导致聚合物发生酸解,因而可用作光产酸剂.本文制备了5种2,1,4-重氮萘醌磺酸酯,具有较好的热稳定性,分解温度均在130℃以上；其中有两种2,1,4-重氮萘醌磺酸酯（PAG-1和PAG-5）的溶解性良好,可溶于光致抗蚀剂体系所用的常用溶剂,且二者的光解效率较高,可用作i-线光致抗蚀剂的产酸剂使用.
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