【摘 要】
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介绍了掺钇氧化锆(YSZ)薄膜的制备方法,这些方法包括化学气相沉积法、电化学气相沉积法、电泳沉积法、溶胶-凝胶法、溅射法、流延成型法和等离子喷涂等,并评述了这些方法的优
【机 构】
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河北理工大学化工工艺与生物技术学院
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介绍了掺钇氧化锆(YSZ)薄膜的制备方法,这些方法包括化学气相沉积法、电化学气相沉积法、电泳沉积法、溶胶-凝胶法、溅射法、流延成型法和等离子喷涂等,并评述了这些方法的优缺点;介绍了YSZ薄膜作为重要的功能材料在气体、液体分离与纯化、高温催化膜反应器、燃料电池和功能涂层等方面的应用;指出了未来YSZ薄膜应用研究的发展趋势。
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