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目前在电力系统中随着SF6设备的大量应用,检修、维护工作的工作量也随之增加。SF6气体回收—SF6设备检修—抽真空—充入SF6气体—检漏、投入运行是一个完整的作业过程,其中抽真空过程若控制不当则会带来微水超标等严重后果,造成返工,影响设备安全、稳定运行。本文就针对实际工作的需要,开展一种高精度可追溯SF6电力设备抽真空系统及方法的研究。