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本发明提供制备不饱和亚氨基烷氧基硅烷的方法,其包括:用氨基硅烷对基本上不含水的Diels-Alder保护的不饱和N-取代的环状酰亚胺进行酰亚胺化,从而提供Diels-Alder保护的不饱和亚氨基烷氧基硅烷.而不使用化学干燥剂。然后对制备的Diels-Alder保护的不饱和亚氨基烷氧基硅烷进行脱保护,