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大功率半导体激光器的腔面退化是影响其寿命和可靠性的重要因素，长期以来一直是人们关注和研究的重点。本文利用离子铣结合腔面钝化还原层的方法对大功率半导体激光器的腔面进行处理。结果显示，离子铣腔面钝化能够在一定程度上减少半导体激光器的功率退化，168h加速老化后退化幅度降低4．5%；同时该技术对老化过程中COD阈值降低有明显的抑制作用，可有效减少使用中的突然失效。结果表明，该技术能够改善半导体激光器的腔面特性，器件的可靠性和使用寿命可望得到提高。