【摘 要】
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表面光电压法(SPV)能精确测量硅片的Fe离子浓度,是一种快速、非破坏性的高灵敏度测试方法。采用表面光电压技术研究了氧化工艺中的Fe离子沾污。研究表明,氧气、氮气、三氯乙
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表面光电压法(SPV)能精确测量硅片的Fe离子浓度,是一种快速、非破坏性的高灵敏度测试方法。采用表面光电压技术研究了氧化工艺中的Fe离子沾污。研究表明,氧气、氮气、三氯乙烯中含有的微量杂质是氧化工艺中Fe离子沾污的主要来源。通过对氧气、氮气进行进一步纯化处理、减少三氯乙烯杂质质量分数到1.0×10-8、更换传输气体的不锈钢管路等措施,将氧化工艺Fe离子沾污减少了一个数量级。
Surface photovoltage (SPV) is a fast, non-destructive and highly sensitive method for accurately measuring the Fe ion concentration in silicon wafers. The surface photovoltage technique was used to study the Fe ion contamination in the oxidation process. Studies have shown that oxygen, nitrogen, trichlorethylene trace impurities contained in the oxidation process is the main source of Fe ion contamination. Through the further purification of oxygen and nitrogen, reducing the trichlorethylene impurity mass fraction to 1.0 × 10-8, replacing the transmission gas of stainless steel piping and other measures, the oxidation process Fe ion contamination reduced an order of magnitude.
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