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本文设计了一个恒温腐蚀系统,用于微机械加工制作中的腐蚀工艺.系统装备了冷凝回流与加热搅拌装置,保证了腐蚀过程中,腐蚀液浓度的稳定与均匀;特殊设计的加热设备,提高了热量的利用效率.同时,采用内藏式温度传感器和基于模糊专家系统的温度控制算法,使腐蚀系统的温度控制更加精确、灵活.与传统水浴恒温相比,不仅使用方便,而且提高了腐蚀的效率与质量.