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用硝酸-氢氟酸溶解样品,以选定的内标元素进行校正,采用电感耦合等离子体质谱法对高纯钽中21种痕量元素进行测定,按工作曲线法进行计算各元素的质量浓度,以质量分数表示测量结果。对仪器参数的优化、分析线的选择、基体干扰进行深入研究,重点考察了Sc、Y、Rh混合内标对被测元素的校正作用。结果表明:以6μg/L Rh对24Mg、27Al、50Ti、51V、52Cr、55Mn、59Co、60Ni、65Cu、66Zn、75As、90Zr、93Nb、95Mo、114Cd、118Sn、121Sb、137Ba、184W、20