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当硅处于应变状态时，不仅电阻发生变化，而且还会产生与电流方向垂直的电压，与霍尔测量时所发现的情况大致相同。产生这种偏移电压的机理是剪切压阻效应。
多晶硅应变式传感器
【摘 要】
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当硅处于应变状态时，不仅电阻发生变化，而且还会产生与电流方向垂直的电压，与霍尔测量时所发现的情况大致相同。产生这种偏移电压的机理是剪切压阻效应。
【出 处】
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国外传感技术
【发表日期】
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2004年5期
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