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简要分析了微细电沉积加工的两种典型技术一磁电沉积技术和超声沉积技术，并结合中物院机械制造工艺研究所的研究设备，开展了微细电沉积的初步实验研究，在铜基底上实现了直径25μm、高300μm的微小圆柱的电沉积加工，并通过仿真分析解释了沉积样件直径小于微细电极直径的原因。
微细电沉积加工技术浅析及实验研究
【摘 要】
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简要分析了微细电沉积加工的两种典型技术一磁电沉积技术和超声沉积技术，并结合中物院机械制造工艺研究所的研究设备，开展了微细电沉积的初步实验研究，在铜基底上实现了直径25μ
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【出 处】
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电加工与模具
【发表日期】
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2016年A01期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（51475439）,中物院超精密加工技术重点实验室资助项目（ZZ14005）,中国工程物理研究院发展基金资助项目（K901-14-jf）
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