冷等离子体对硅—锗纯化的实验研究

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本文通过实验证实了冷离子体对硅-锗粉末的纯化作用,并探索了放电电流、放电时间、加热温度、反应器内总压力等参数对纯化效果的影响。从而为工业应用打下一定基础。
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