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介绍了多参量MEMS气体质量流量计的原理、性能和应用。该流量计采用MEMS流量芯片作为一次传感的核心部件．并配以专门的低功耗二次智能仪表，具有超大量程、微功耗、无压损、小流量灵敏、响应时间快及易于远传和网络化管理等优点，相信该流量计会有很广阔的应用前景。
多参量MEMS气体质量流量计
【摘 要】
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介绍了多参量MEMS气体质量流量计的原理、性能和应用。该流量计采用MEMS流量芯片作为一次传感的核心部件．并配以专门的低功耗二次智能仪表，具有超大量程、微功耗、无压损、小流
【机 构】
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美国矽翔微机电系统有限公司
【出 处】
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自动化仪表
【发表日期】
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2006年7期
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