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一种厚度优化的浅掺杂漏极的光阻被用到了芯片的制造上。因为这种应用，静态存储器器件显示了良好的性能和电性稳定性，并且在这种优化的光阻条件下，10M的静态存储器芯片也取得了良好的工作性能。
一种基于静态存储器微缩的轻掺杂漏离子注入光阻厚度的优化
【摘 要】
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一种厚度优化的浅掺杂漏极的光阻被用到了芯片的制造上。因为这种应用，静态存储器器件显示了良好的性能和电性稳定性，并且在这种优化的光阻条件下，10M的静态存储器芯片也取得了
【机 构】
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中芯国际集成电路制造上海有限公司
【出 处】
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中国科技纵横
【发表日期】
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2013年16期
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