【摘 要】
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光学相控阵技术是最近发展起来的一种新型的光束扫描技术。它具有多通道迅速扫描能力、体积小和低功耗等优点。在新型激光雷达和激光通信方面具有广阔的应用前景。但是以微波
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光学相控阵技术是最近发展起来的一种新型的光束扫描技术。它具有多通道迅速扫描能力、体积小和低功耗等优点。在新型激光雷达和激光通信方面具有广阔的应用前景。但是以微波相控阵为基础发展起来的光学相控阵,它的引出寻址数量较多,以至于现有的工艺技术很难实现。为了减少引出寻址,提出了粗/精级联结构,这种结构能够大幅度减小光学相控阵所需的寻址结构,使得其工艺实现成为可能。
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