激光预处理对增透膜阈值的影响

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhuchao2549
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激光预处理是提高光学薄膜激光损伤阈值的有效方法之一。本文就激光预处理前后增透膜损伤阈值的变化、破斑深度的变化、膜层中电场分布情况,分析了激光预处理对阈值的影响及原因。
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