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激光预处理对增透膜阈值的影响
激光预处理对增透膜阈值的影响
来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhuchao2549
【摘 要】
:
激光预处理是提高光学薄膜激光损伤阈值的有效方法之一。本文就激光预处理前后增透膜损伤阈值的变化、破斑深度的变化、膜层中电场分布情况,分析了激光预处理对阈值的影响及原
【作 者】
:
崔云
赵元安
晋云霞
张伟利
齐宏基
范正修
邵建达
【机 构】
:
中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
:
真空科学与技术学报
【发表日期】
:
2006年4期
【关键词】
:
激光预处理
增透膜
激光损伤
Laser conditioning
Antireflection
Laser-induced damage
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激光预处理是提高光学薄膜激光损伤阈值的有效方法之一。本文就激光预处理前后增透膜损伤阈值的变化、破斑深度的变化、膜层中电场分布情况,分析了激光预处理对阈值的影响及原因。
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