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用脉冲激光沉积法（PLD）在n型Si（Ⅲ）面上生长了ZnO薄膜．采用X射线衍射分析、原子力显微镜分析、傅里叶红外吸收光谱和拉曼光谱技术，测试了ZnO薄膜的结构、表面形貌和振动特性．
脉冲激光沉积法在硅衬底上制备氧化锌薄膜
【摘 要】
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用脉冲激光沉积法（PLD）在n型Si（Ⅲ）面上生长了ZnO薄膜．采用X射线衍射分析、原子力显微镜分析、傅里叶红外吸收光谱和拉曼光谱技术，测试了ZnO薄膜的结构、表面形貌和振动特性．
【机 构】
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山东师范大学物理与电子科学学院
【出 处】
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山东师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2006年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（10474059、90301002和90201025）,山东省自然科学基金资助项目（Y2003A01）
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