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使用溶胶-凝胶法，制备了Fe掺杂的ZnO粉末衡磁半导体材料。通过X射线衍射对样品的晶格结构进行了分析，发现衍射峰的峰位随着Fe掺杂量出现偏移。当掺杂浓度低于6．66％时，Fe较好地替代了Zn的品格位置，当掺杂浓度达到6．66％时出现杂相峰。使用超导量子于涉仪对所制备的磁性材料进行表征，得到了材料磁化率随温度变化关系曲线，并观察到明显的低温磁滞现象。对其磁性来源进行了分析。