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纳米压印技术是一种接触式工艺,已经发展了热压印、紫外压印以及微接触印刷等多种压印形式.纳米压印制造过程涉及到模板、材料、工艺以及设备等诸多因素的系统工程.想要获得纳米结构图案,模板的清洗、热压印制作、均匀紫外固化等相关核心技术的控制非常关键.利用紫外纳米压印技术制作微流控芯片二维微纳米沟道为背景,深入研究了紫外纳米压印的关键工艺过程.针对技术瓶颈,研究了低成本制作微流控芯片和二维纳米压印微纳米沟道的技术.