【摘 要】
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本文研究了氮化硅α→β相变的诸影响因素。发现 Y2O3添加剂具有最显著的相变促进作用,而 La2O3添加剂促进相变的作用最小,但后者对促进 Si?N4致密化的作用较前者显著。原始
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所;中国科学院上海硅酸盐研究所;
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本文研究了氮化硅α→β相变的诸影响因素。发现 Y2O3添加剂具有最显著的相变促进作用,而 La2O3添加剂促进相变的作用最小,但后者对促进 Si?N4致密化的作用较前者显著。原始氮化硅粉末的比表面、杂质含量及颗粒形貌均会影响α→β相变的程度。
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