【摘 要】
：
点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论，分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远场衍射波前质量的影响，确定了PDI检测极紫外光刻(EUVL)元件和系统时的最佳直径大小。分析计算得出，当用PDI检测数值孔经（NA）为0.3的系统时，采用直径大小为800 nm的小孔较为适宜，其衍射波前均方根(RMS)偏差为6.51×10-5λ，强度均匀性为0.812。当用PDI检测NA为0.3的元件时
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033中国科学院研究生院,北京100049
论文部分内容阅读
点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论，分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远场衍射波前质量的影响，确定了PDI检测极紫外光刻(EUVL)元件和系统时的最佳直径大小。分析计算得出，当用PDI检测数值孔经（NA）为0.3的系统时，采用直径大小为800 nm的小孔较为适宜，其衍射波前均方根(RMS)偏差为6.51×10-5λ，强度均匀性为0.812。当用PDI检测NA为0.3的元件时，采用直径大小为500 nm的小孔较为适宜，其衍射波前的RMS非对称偏差为8.40×10-5λ，强度均匀性为0.664。
其他文献
采用高速摄像仪观察了光纤激光深熔焊接羽辉的动态行为,分析了羽辉的形成原因。结果表明:羽辉可分为底部周期性摆动部分和类似于激光束聚焦形态的狭长形部分;当小孔前壁上激光致蒸发蒸气靠近小孔口时,底部周期性摆动羽辉的摆动角度最大,反之,底部周期性摆动羽辉的摆动角度最小;狭长形羽辉的强度随着离焦量的增加(或深熔小孔口直径的增大)而增大。进一步分析表明:底部周期性摆动羽辉的形成与小孔前壁表面激光致蒸发蒸气的喷发有关;底部摆动羽辉的喷发过程中存在大量微粒;狭长形羽辉的形成与底部摆动羽辉沿光束方向喷发时携带的微粒进入光束
在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于灵敏度分析的测量条件优化配置方法来改善待测参数的灵敏度,以实现更高精度的纳米结构测量.实验表明,在理论预估的最优测量配置下,一维纳米结构所有待测参数的测量精确最优,验证了其有效性.
"激光彩色影片记录器",现在称作"激光扫描仪",有许多独到之特色。其高分辨率、低噪声、不存在磷光体余辉效应、极好的扫描线性和精密的色彩配准等,始终提供好的再现标准,而又没有标准彩色分离方法那样费用高昂。激光记录器原则上是简单的,包含红、绿、蓝三种光。各光束独立地通过光调制器,后者按照已译码的电视信号中红、绿、蓝光信息对光束进行调制。此三束光同轴地混合成
A real-time method for measuring atmospheric parameters based on co-processor field-programmable gate array (FPGA) and main processor digital signal processing (DSP) is proposed for ground-based telescopes with adaptive optics (AO) systems. Coherence leng
针对高功率大遮拦比窄环薄管激光的环域像差校正需求,提出一种基于新型环形边缘驱动变形镜的环域像差校正方法。利用环形边缘驱动变形镜构建自适应光学闭环控制系统,以实现对高功率大遮拦比窄环薄管激光波前的校正。使用新型的环形边缘驱动变形镜来验证所提方法对单一环域低阶像差的校正能力,并分析其对大遮拦比薄管激光的校正效果。实验结果表明,所提的环域像差校正方法能够有效校正大遮拦比窄环薄管激光的波前畸变,显著提高光束质量。
A design approach is described to achieve spectral blocking filters of any spectral width and optical density for narrow blocking bands. We give new criterions to find the necessary number of layers from the desired bandwidth and optical density, and give
运用傅里叶变换红外光谱技术研究了增强紫外线-B(UV-B）辐射对植物光系统Ⅱ(PSⅡ）中膜蛋白结构的影响。 结果显示在增强的UV-B辐射条件下, PSⅡ中蛋白的α-螺旋、 β-折叠强度增加, 而β-转角的强度下降了近一倍, 并且这些结构与周围的耦合减弱。 此外, UV-B辐射使酪氨酸残基苯酚环的结构发生改变, 并使其微极性降低。 UV-B辐射所诱导的以上结构的变化必然引起锰簇及色素和蛋白质之间的天然结合状态的改变, 并导致光能传递、 转换、 电子传递以及放氧等一系列的变化。
抽运方法已成为影响光纤激光器输出功率的关键因素,有比较重要的意义。综述了双包层光纤激光器的端面抽运、侧面抽运方法,并介绍了掺杂光纤集中抽运光纤激光器。选择适当的抽运方式对提高光纤激光器的性能指标具有比较重要的意义。