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应用微电子行业的深硅刻蚀技术ICP制备微齿轮过程中，设计微齿轮掩膜板时，为了将AutoCAD等软件设计的微齿轮渐开线轮廓正确导入LinkCAD等光刻掩膜文件格式转换软件中，需将渐开线齿廓非样条化。针对分度圆直径1mm的微齿轮渐开线齿廓按等基圆中心角的方式分别进行8、12、20分段，并分别用直线和圆弧段拟合。实验证明，微齿轮渐开线应用8分段并用圆弧拟合能获得相对光顺和精度最高的拟合曲线，能满足微齿轮齿廓要求。采用的方法为其他类似曲线段的拟合提供了有价值的参考。