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报道了自行搭建的扫描探针电子能谱仪(sPEES)的离线数据处理系统。该系统是由国家仪器公司(National Instrument,NI)开发的图形化语言LabvIEw(Laboratory VirtualInstrument EngineeringWorkbench)来实现的,能够根据我们SPEES实验中能谱测量的不同模式(扫描模式和非扫描模式)来选择相应的处理模式。功能包括“文件批处理”、“方位角选择”、“原点校正”、“能量刻度”和“能谱处理及效率修正”,同时还能对电子密度分布、角分布、道数分布和能量