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分析了半导体设备温度变化对其光学系统的影响,以某半导体设备光学系统为例阐述并指出了此影响对生产造成的危害。
温度对半导体封装设备光学系统的影响
【摘 要】
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分析了半导体设备温度变化对其光学系统的影响,以某半导体设备光学系统为例阐述并指出了此影响对生产造成的危害。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2014年4期
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