NiZn铁氧体靶材及薄膜的磁性能和微观结构

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首先采用固相反应法制备NixZn1-xFe2O4铁氧体靶材(x=0.2~0.8),研究了Ni取代量对靶材性能的影响;并选用Ni0.5Zn0.5Fe2O4靶材,采用射频磁控溅射法在Si(100)基片上制备了NiZn铁氧体薄膜。靶材样品的分析结果表明,随Ni含量增加,样品的X射线衍射峰向高角方向移动,晶格常数和平均晶粒尺寸都单调减小;当x=0.5~0.6时,NixZn1—xFe2O4铁氧体饱和磁感应强度Ba较高,矫顽力凰较小。薄膜样品的分析结果表明,制备的薄膜经800℃退火后,呈尖晶石结构,并沿(400)方向
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