【摘 要】
：
为了进一步提高微机电(MEMS)陀螺在体积、重量和功耗上的优势,开展了MEMS双质量块陀螺密封腔内互联引线设计,该设计增大了陀螺的有效设计面积,减少了芯片体积,实现复杂信号引线布线。设计了齿状互联引线接口结构,分别选用Al和AlCu作为互联引线材料进行对比试验,同时对比分析了电极厚度对键合面和导通性的影响。最终确定合适的工艺参数为:伸入键合区长度为20μm,齿状数目为10,电极材料为Al,厚度为0.2μm。完成了基于该引线设计的双质量块陀螺制作,实现信号导通。样机测试结果表明,其真空密封品质因数能够达到2
【机 构】
：
中国航空工业集团西安飞行自动控制研究所
【基金项目】
：
国家重点研发计划(2017YFB1104604)。
论文部分内容阅读
为了进一步提高微机电(MEMS)陀螺在体积、重量和功耗上的优势,开展了MEMS双质量块陀螺密封腔内互联引线设计,该设计增大了陀螺的有效设计面积,减少了芯片体积,实现复杂信号引线布线。设计了齿状互联引线接口结构,分别选用Al和AlCu作为互联引线材料进行对比试验,同时对比分析了电极厚度对键合面和导通性的影响。最终确定合适的工艺参数为:伸入键合区长度为20μm,齿状数目为10,电极材料为Al,厚度为0.2μm。完成了基于该引线设计的双质量块陀螺制作,实现信号导通。样机测试结果表明,其真空密封品质因数能够达到2
其他文献
量测信息异常导致的噪声统计特性变化容易引起组合导航滤波精度下降甚至发散。针对Sage-Husa自适应滤波算法估计系统量测噪声参数性能对遗忘因子依赖性强的问题,提出了基于指数渐消遗忘因子的自适应滤波算法。在对故障检测函数判断量测噪声统计特性研究的基础上,构建了基于指数函数的动态遗忘因子模型,提升量测信息异常情况下的导航精度。与卡尔曼滤波、Sage-Husa自适应滤波、基于滑动遗忘因子自适应滤波等三种算法对比的仿真和跑车试验结果表明,所提出的算法在存在量测异常的情况下,导航性能提高显著,导航位置精度均提高20
超高灵敏度加速度计广泛应用于空间探测和地球重力场测量等领域,评估温度对其的影响并将之扣除,对提高加速度计的精度有着重要意义。针对此类加速度计零偏和标度因数的温度模型测试方案,详细分析了测试过程中可能产生的误差项及作用机制,确认了重力场升降温测试中对称位置法依然可以有效消除温度变化相关的安装面变形误差,从而提升了测试精度。基于此分析,利用带温箱的二轴转台进行了小角度倾斜多位置旋转实验,验证了分析的正确性以及方法的有效性。对自研的ng分辨率MEMS加速度计的测试结果表明,零偏的温度系数测试不确定度达0.5μg
中国科技成果转化率低已成为科技界公认的难点问题,如何通过政策调整与制度创新来促进科技成果转化变得极为重要。本文通过分析1978—2019年中国科技成果转化政策演变特征、内在逻辑与动力机制,发现政策侧重点随着政策演进不断发生转移,呈现出继承发展、层层递进的特点,主要反映出市场化、一体化、多元化和人才驱动创新的政策导向。科技成果转化制度变迁具有显著的路径依赖特征,计划经济体制烙印下形成的产学研脱节在市场不完全和利益循环累积的作用下逐渐陷入锁定状态。“自上而下”外生制度驱动力量对政治锁定与认知锁定的解除,以及“
基于手工构建的新数据库,本文实证研究政府产业基金对企业创新的影响以及地方金融发展水平是否会影响政府产业基金促进创新的效果。实证研究发现,相对于未受任何风险资本投资的企业,政府产业基金投资的企业创新更为活跃,并且在金融发展水平较低的地区,政府产业基金更有效地缓解市场失灵导致的企业融资缺口问题,其对企业创新的促进作用更显著。研究还发现,尽管政府产业基金能够促进企业整体创新,但更容易导致更多的低质量创新。本文研究结论从企业创新视角提供了中国政府产业基金积极影响的证据,有助于更好地理解中国产业政策的作用。
针对包含角晃动干扰和线运动干扰的复杂环境下捷联惯导纬度自估计问题,提出一种通过对惯性系下重力加速度的二次积分进行多项式拟合,去除干扰后反算重力加速度进行纬度估计的方法,相比传统方法,可最大化两重力矢量夹角,有效提升在复杂线角环境干扰下的纬度估计精度;同时利用重力加速度在初始导航惯性系下北向投影分量符号与纬度符号一致的特点,快速完成纬度正负符号解算。仿真和车载试验表明,高精度光纤捷联惯导可达到0.11°(3σ)/300 s的纬度估计精度。同传统方法相比,所提出方法抗干扰能力更强,更适合工程实用。
在全面建设现代化国家的新征程中,共同富裕被摆在更加重要的位置。习近平总书记在2021年8月17日召开的中央财经委员会第十次会议上强调,“要坚持以人民为中心的发展思想,在高质量发展中促进共同富裕。”科技创新是高质量发展的根本保障。科技创新既是社会财富的创造动力,也可对财富创造的分布、财富合理分配等产生影响,将在促进共同富裕中起到引领和支撑作用。
文章基于我国东部“双一流”高校博士毕业生流向西部高校为研究对象,采用质性研究法,探究他们在步入职场前、职场中以及未来职业愿景的不同场域下,如何规划、实践、重塑其流动个体的职业、生活等不同的认知逻辑。研究发现,“青椒”博士在入职前的职业规划会受到人才政策因素和个体内在资本的双重影响;在步入职场实践中,由于面临种种困境,会使其流向嵌入较多不稳定性;但也会使其在未来职场重塑中,寻找困境的解决方法,以实现流动再生产的张力。鉴于此,文章从西部高校人才治理角度提出有关人才政策、人才服务和人才流动等方面的建议。
成卷机为无纺布行业的主要设备,纺织技术发展对成卷机提出较高要求,使成卷机自动化水平得到提高,不仅能够使人力成本得到降低,还能够使无纺布行业的精细化程度得到提高.对于成卷机技术的问题,通过信息技术最新成果设计能够解决现有技术问题的成卷机控制系统.通过试用结果表示,系统能够提高成卷机信息化水平,使次品率得到降低.自动化程度提高,大大提高生产效率.
传统光纤陀螺控制算法,只能保证反馈通道增益的稳定,无法实现前向通道增益的实时检测与稳定保持,而前向通道增益稳定性是影响光纤陀螺性能、反映实际条件下光纤陀螺工作状态的重要参数之一。为此,提出了一种光纤陀螺环路增益高精度实时检测与闭环控制方法,利用新引入的增益监控调制信号实现了全环路增益的实时精确检测,采用增益闭环自动控制回路实现了环路增益在预设参考最优值的稳定保持。实验结果表明,此增益检测方法可成功