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本文采用多靶磁控溅射技术制备ＴｉＣ／Ａｌ界面梯度过渡层，过渡层由ＴｉＣ和Ａｌ的成分梯度变化组成，其成分由Ａｌ基体侧平缓过渡到ＴｉＣ涂层侧。梯度过渡层的成分变化经ＡＥＳ测定，并和光学金相显微镜观察了涂层形貌。实验结果表明，当梯度层厚主于某临界值后，由内应力所致的表层ＴｉＣ裂纹消除。
梯度过渡涂层的制备
【摘 要】
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本文采用多靶磁控溅射技术制备ＴｉＣ／Ａｌ界面梯度过渡层，过渡层由ＴｉＣ和Ａｌ的成分梯度变化组成，其成分由Ａｌ基体侧平缓过渡到ＴｉＣ涂层侧。梯度过渡层的成分变化经ＡＥＳ测定，并和光学金相显微镜观察了涂层形貌
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,中国工程物理研究院
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1996年2期
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