聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangzhaohai

【摘要】

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该文在硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)谐振器上沉积了不同厚度的聚酰亚胺薄膜,研究了聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响。结果表明,SAW谐振器表面沉积了聚酰亚胺薄膜后,

【作者】

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谢小伟彭斌喻恒李凌张万里

【机构】

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电子科技大学、电子薄膜与集成器件国家重点实验室

【出处】

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压电与声光

【发表日期】

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2018年6期

【关键词】

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聚酰亚胺声表面波机电耦合系数温度频率特性硅酸镓镧(LGS) polyimide SAW electromechanical coupling coeff

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(61223002).

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该文在硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)谐振器上沉积了不同厚度的聚酰亚胺薄膜,研究了聚酰亚胺覆盖层对LGS声表面波谐振器的影响。结果表明,SAW谐振器表面沉积了聚酰亚胺薄膜后,器件的谐振频率向低频移动,且随着聚酰亚胺层厚度的增加,谐振器的谐振频率下降越大。SAW谐振器的一阶频率温度系数绝对值随着聚酰亚胺层厚度的增加而增大,且温度转变点向低温偏移。研究结果表明,覆盖聚酰亚胺层薄膜可以提高SAW谐振器的温度灵敏度,从而可应用于温度传感器中。

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