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论述了PSD和CCD应用于双三角探头的初步设计思路,详细介绍了二者的信号处理电路,并且对二者在应用于位置测量的各方面的性能进行了对比。最后,提出了需要解决的问题。
对综合应用PSD、CCD的双三角探头的研究
【摘 要】
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论述了PSD和CCD应用于双三角探头的初步设计思路,详细介绍了二者的信号处理电路,并且对二者在应用于位置测量的各方面的性能进行了对比。最后,提出了需要解决的问题。
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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科学技术与工程
【发表日期】
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2007年21期
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