【摘 要】
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应用SU-8负性感光胶的独特性能,采用水浴倾斜紫外光刻的方法,优化工艺参数,构造出主光轴平行于基底的球面微透镜阵列,其单个透镜的直径约为200 μm.利用激光扫描共聚焦显微镜
【机 构】
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中北大学电子测试技术重点实验室,太原 030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原 030051
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应用SU-8负性感光胶的独特性能,采用水浴倾斜紫外光刻的方法,优化工艺参数,构造出主光轴平行于基底的球面微透镜阵列,其单个透镜的直径约为200 μm.利用激光扫描共聚焦显微镜(LSCM)对微透镜的表面形貌及曲率半径进行测量,并搭建光学观测平台,测得透镜焦距并观察成像效果.经观测,所加工球面微透镜具有较好的表面形貌和成像效果.基于此方法加工的微透镜阵列,主光轴平行于基底,因而便于与其他光学系统进行片上集成,完成对光线的聚焦,最终实现光开关、扫描成像等功能.此微透镜阵列也将集成在微流式细胞仪上,用于样本流的荧光检测,可极大提高检测精度.
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