【摘 要】
：
采用化学气相沉积法(PECVD)在石英基片上制备氮化硅薄膜,应用MEMS工艺将氮化硅薄膜制作成双端固定的微结构梁,纳米压痕仪测量氮化硅薄膜的杨氏模量表明其值在136～172 Gpa之间,
【机 构】
：
南京邮电大学电子科学与工程学院,东南大学电子科学与工程学院,
论文部分内容阅读
采用化学气相沉积法(PECVD)在石英基片上制备氮化硅薄膜,应用MEMS工艺将氮化硅薄膜制作成双端固定的微结构梁,纳米压痕仪测量氮化硅薄膜的杨氏模量表明其值在136～172 Gpa之间,用曲率半径法测试薄膜的残余应力,并对微结构梁的弹性系数进行计算,结果表明弹性系数值在11.4～57 N/m.之间,根据实验所得弹性系数对微结构梁的驱动电压进行计算,其驱动电压在32.8～73V之间,微结构梁的实际驱动电压测得为34～60V。
其他文献
对德国DIN50929土壤腐蚀性评价标准作出改进,在此基础上提出了变电站接地网土壤腐蚀性的评价方法。用该方法对陕西省30个不同地区变电站典型土壤的腐蚀性作出评价,并进行对比
江苏澳洋科技控股子公司阜宁澳洋科技有限责任公司计划出资4．96亿元，投资建设年产8万吨差别化粘胶短纤项目。
在今年河南省电视节目评选中，笔者主持的节目《放飞梦想之〈肖邦钢琴娃娃专场〉》荣获河南省电视主持一等奖。这是一档30分钟的少儿节目，共分3个环节：自我介绍、才艺展示、问题
<正> 感谢《中国广播电视学刊》提出了这样一个好的题目。以从业者的角度,我希望能够在明确少儿电视生存与发展的环境、目标和方法等方面与读者分享我的粗浅想法,以求抛砖引
目的:了解我省三级医院手术室突发事件应急准备现状,以发现运行过程中存在的主要问题,为改进和完善手术室突发事件应急准备提供依据。方法:采用自行设计问卷,对我省20家三级
在跨界投资时,大企业可凭借其在原生产网络中的权力优势影响其配套企业跟随其迁移,并促使地方政府发挥政权力量满足其对优惠政策及公共产品方面要求,使母地的生产联结模式在
目的:观察血必净及大黄联合治疗重症急性胰腺炎的疗效。方法:2011年12月～2012年6月,我院收治SAP病人40例,按病人入院顺序随机分为观察组和对照组各20例,对照组施以常规治疗及
<正>西沙群岛位于海南岛东南约370公里,由宣德、永乐两个岛群组成,总面积约13平方公里。南海诸岛自古以来就是中国领土。长期以来,南越西贡当局对我南海诸岛就怀有领土野心,
我国法上过错侵权的一般条款是《民法通则》第106条第2款。该条款不仅是我国民法与近现代民法接轨的具体表现,而且与我国市场化改革相契合。但该条款也要求我们在适用时应该
中性墨水的表观粘度、屈服应力与触变环面积等流变学参数是决定中性墨水质量优劣的重要因素,也事关所灌注中性笔的书写性能。考查了分散树脂种类、炭黑添加量及粒度分布对中