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以硫酸铜(CuSO4·5H2O)为主盐,分别研究了以乙二胺四乙酸二钠(Na2EDTA)和柠檬酸钠(Na3C6H5O7·2H2O)作为单一络合剂的化学镀铜工艺,通过化学抛光液对施镀基体的前处理以及对镀铜液的TU-1900型紫外一可见吸收光谱分析,探讨了镀液光谱曲线变化与沉铜速率、镀液稳定性的内在联系,结果表明,镀液吸收光谱的红移与蓝移主要通过体系中水舍铜离子与氢氧化铜的配位数的多少及英量的多少来体现,沉铜速率与光谱曲线的红移呈正相关性,镀液的稳定性与吸收光谱的峰的多少和峰值的大小呈负相关