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使用ELID磨削技术进行工件加工,可以通过使用BCB砂轮加工获得表面无污染和超光滑工件,从而克服使用铸铁结合剂砂轮给工件表现带来污染的问题。基于这种认识,本文使用BCB砂轮开展了单晶硅ELID磨削工艺实验,并且对磨削参数变化对磨削效果的影响展开了分析。通过分析发现,使用ELID磨削技术进行单晶硅加工,可以获得良好的加工效果。