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提出了不同性能的六种非金属材料如超硬陶瓷、超硬薄膜、铁氧体、玻璃陶瓷的研抛方法，获得了低表面粗糙度、高平面度及高平行度的基片。
关于几种超硬非金属材料高精度基片研抛方法的研究
【摘 要】
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提出了不同性能的六种非金属材料如超硬陶瓷、超硬薄膜、铁氧体、玻璃陶瓷的研抛方法，获得了低表面粗糙度、高平面度及高平行度的基片。
【机 构】
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中国科学院计算技术研究所
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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1995年4期
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