【摘 要】
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Silicon-based light sources, including light-emitting diodes(LEDs) and laser diodes(LDs) for information transmission, are urgently needed for developing monolithic integrated silicon photonics. Silicon with erbium ions(Er3+) doped by ion impla
【机 构】
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KeyLaboratoryofPolarMaterialsandDevices,NationalKeyLaboratoryofScienceandTechnologyonMicro/NanoFabri
【基金项目】
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National Natural Science Foundation of China(61790583,61874043,61874072,21703140),Special-key project of the“Innovative Research Plan”,Shanghai Municipality Bureau of Education(2019-01-07-00-02-E00075
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Silicon-based light sources, including light-emitting diodes(LEDs) and laser diodes(LDs) for information transmission, are urgently needed for developing monolithic integrated silicon photonics. Silicon with erbium ions(Er3+) doped by ion impla
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