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提出了一种用于MEMS器件真空密封的电阻熔焊方法。低泄漏率是MEMS器件真空密封的关键因素之一。通过研制的真空电阻熔焊机．设计带缓冲腔的封装外壳，实现了MEMS件真空密封。试验结果表明，封装好的器件具有长时间真空保持性。
一种用于MEMS器件真空密封技术的电阻熔焊方法
【摘 要】
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提出了一种用于MEMS器件真空密封的电阻熔焊方法。低泄漏率是MEMS器件真空密封的关键因素之一。通过研制的真空电阻熔焊机．设计带缓冲腔的封装外壳，实现了MEMS件真空密封。试验
【机 构】
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华中科技大学微系统研究中心,武汉工程大学机械学院
【出 处】
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焊接技术
【发表日期】
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2008年2期
【基金项目】
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国家863高技术发展资助项目(2005AA404260)
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