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结合精密合成碳膜电位器电阻体修刻机的研发 ,在给出合成碳膜电位器修刻系统的组成及修刻原理的基础上 ,从硬件和软件等方面分析了系统内影响修刻精度的各种因素 ,并提出了相应的误差补偿方法。文章最后给出了误差补偿的效果
精密合成碳膜电位器电阻体修刻误差分析及补偿
【摘 要】
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结合精密合成碳膜电位器电阻体修刻机的研发 ,在给出合成碳膜电位器修刻系统的组成及修刻原理的基础上 ,从硬件和软件等方面分析了系统内影响修刻精度的各种因素 ,并提出了相
【机 构】
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天津大学机械工程学院
【出 处】
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机床与液压
【发表日期】
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2004年02期
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