【摘 要】
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文中采用MEMS技术加工研制了一种新型热导检测器,这种微型热导检测器采用电阻率高、电阻温度系数大的Pt热敏电阻,利用MEMS技术将Pt薄膜沉积在Pyrex7740玻璃上并通过剥离技术
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100190
【出 处】
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第11届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
文中采用MEMS技术加工研制了一种新型热导检测器,这种微型热导检测器采用电阻率高、电阻温度系数大的Pt热敏电阻,利用MEMS技术将Pt薄膜沉积在Pyrex7740玻璃上并通过剥离技术获得热敏电阻,而气体通道以及热导池是通过深刻蚀在硅片上刻蚀得到,热导池的体积为0.4μL。这种热导检测器具有灵敏度高,不受气流影响,不易氧化等特点,适用各种混合气体分离检测。
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