【摘 要】
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一、引言随着科学技术的发展,纳米测量技术在尖端产品和现代化武器制造中具有非常重要的地位.例如,静电悬浮化陀螺需要10nm或更精确的转子.为了测量如此精密零件的形状,就必
【机 构】
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中国物资储运郑州公司计量中心,机械工业部机械科学研究院,佛山职业技术学院,西北工业大学
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一、引言随着科学技术的发展,纳米测量技术在尖端产品和现代化武器制造中具有非常重要的地位.例如,静电悬浮化陀螺需要10nm或更精确的转子.为了测量如此精密零件的形状,就必须突破圆度仪主轴系统误差的制约,为此可以采用误差分离技术,即在测量结果中将主轴系统误差与零件圆度误差分离开来,从而剔除前者,进一步减小圆度仪的测量不确定度.圆度仪的结构有转台式和转轴式两种,如图a、b所示.
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