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研究人员目前正在开发几种新的硅图案蚀刻技术。与传统光刻相比，它们能写入小得多的线宽。
芯片上的元件还能再缩小吗
【摘 要】
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研究人员目前正在开发几种新的硅图案蚀刻技术。与传统光刻相比，它们能写入小得多的线宽。
【出 处】
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国外科技动态
【发表日期】
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1998年3期
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