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在一维线性谐振子模型基础上，应用薛定谔方程分析了晶体中原子的概率分布；将晶体中原子的概率分布定义为原子云，解释了物理气相沉积法制备薄膜时残余应力产生的原因，建立了薄膜残余应力产生机理的理论模型。
物理气相沉积薄膜应力产生机理的理论分析
【摘 要】
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在一维线性谐振子模型基础上，应用薛定谔方程分析了晶体中原子的概率分布；将晶体中原子的概率分布定义为原子云，解释了物理气相沉积法制备薄膜时残余应力产生的原因，建立了薄膜残
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2006年12期
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