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为了形象演示＂集成电路工艺原理＂课程中的各向异性湿法腐蚀,笔者指导学生设计了一组（100）硅片上以SiO2正方薄膜为掩膜的腐蚀实验。学生自主配置KOH了溶液,改变水浴温度进行各向异性腐蚀实验,并利用金相显微镜对样品实时观察并测量。学生在动手过程中可以理解各向异性相关工艺,加强了教学效果。
“集成电路工艺原理”课程中湿法腐蚀实验安排
【摘 要】
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为了形象演示＂集成电路工艺原理＂课程中的各向异性湿法腐蚀,笔者指导学生设计了一组（100）硅片上以SiO2正方薄膜为掩膜的腐蚀实验。学生自主配置KOH了溶液,改变水浴温度进行各向异
【机 构】
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中国计量学院
【出 处】
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电气电子教学学报
【发表日期】
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2012年2期
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