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激光退火技术,以较低的热预算,可以在瞬间达到较高的退火温度,工艺过程高度可控,制程可重复性好,已经广泛应用于半导体工业界.本文将简要介绍激光退火技术早期的机理研究,以及在硅基太阳能电池,平板显示,集成电路,和微纳米制造等领域的应用.
激光退火技术在半导体领域的应用
【摘 要】
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激光退火技术,以较低的热预算,可以在瞬间达到较高的退火温度,工艺过程高度可控,制程可重复性好,已经广泛应用于半导体工业界.本文将简要介绍激光退火技术早期的机理研究,以
【机 构】
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上海市激光技术研究所,上海市激光束精细加工重点实验室,上海200233
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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2020年6期
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