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能量色散X射线荧光(EDXRF)光谱法分析复杂背景样品中的低含量元素时,X 射线散射产生的干扰会影响系统检测精度,而X 射线散射与X 射线束斑强度密切相关。利用微光像增强器采集了不同工作电流下X 射线束斑的投影图像,用投影光斑外围杂散射线强度表征X 射线散射强度,分析得到了减小X 射线束斑强度的两种方式,即降低X 射线管工作电流和减小准直器孔径。通过实验对比发现,利用EDXRF 法分析样品中低组分元素时,用减小准直器孔径的方法来降低X 射线散射,要比降低X 射线管电流的方式更加有效,且减小准直器孔径的同时增大X 射线管工作电流能够提高系统检测精度。实验结果表明,该方法检测土壤中微量元素Cr 时,实际相对误差为0.9%~6.6%,相对标准偏差为0.7%~1.5%,经过t 检验,p