【摘 要】
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采用Omnicoat作为牺牲层，经过两步光刻和湿法释放成功制备了全SU8结构的微悬臂梁，释放的成功率超过95％．针对SU8热膨胀系数大的缺点，对SU8微悬臂梁进行不同温度退火．采用原子力显微
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采用Omnicoat作为牺牲层，经过两步光刻和湿法释放成功制备了全SU8结构的微悬臂梁，释放的成功率超过95％．针对SU8热膨胀系数大的缺点，对SU8微悬臂梁进行不同温度退火．采用原子力显微镜（AFM）系统对SU8微悬臂梁的弹性系数进行精确表征．结果表明，随着退火温度提高，SU8微悬臂梁弹性系数增大，对于250μm长3．5Hm厚的悬臂梁，95℃退火后，其弹性系数为0．525N·m^-1；200℃退火后，其弹性系数增大到0．745N·m^-1．所制备的微悬臂梁被成功用于表征SU8与玻璃基
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