【摘 要】
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为了弄清ZnO薄膜的导电机理及电阻率与工艺参数的关系,对薄膜的成分进行了精确测定。结果表明,电阻率主要受膜中Zn/O比的影响。对电导机理提出的模型认为,主要由导带电子传导
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为了弄清ZnO薄膜的导电机理及电阻率与工艺参数的关系,对薄膜的成分进行了精确测定。结果表明,电阻率主要受膜中Zn/O比的影响。对电导机理提出的模型认为,主要由导带电子传导和缺陷间跳跃电导决定膜的电导性能。膜中施主为氧空位,陷阱由填隙氧原子提供。当膜中Zn多于氧时,主要为导带电导,而氧多于Zn时,则以跳跃电导为主。
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