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利用空气等离子体氧化热分解碱式碳酸锆和喷雾法等离子体热分解氯氧化锆水溶液制备超细氧化锆粉体,固相氧化热分解所制氧化锆平均粒径可达0.1 μm左右,晶型为亚稳立方、四方和单斜混晶结构,喷雾法等离子体热分解氯氧化锆水溶液所得氧化锆粉体平均粒径为5～60 nm,亚稳混晶结构.在反应过程中对等离子体温度进行控制,可得到形貌为球形的微粉产品.