High-precision comb targets and manufacture process

来源 :Journal of Measurement Science and Instrumentation | 被引量 : 0次 | 上传用户:waly7208346
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To fabricate the comb target with low damping and high performance-price ratio,0.03-{0.1 mm} thickness aluminum foi l used as the conducting medium,the upper and lower surfaces covered with 0.5-1 mm thickness plastic film,after four processes of thrus
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