用于测量位移的新型传感器研究与设计

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搭建了一套完整的基于白光LED和光纤耦合器式的光谱共焦位移测量系统。首先对色散物镜、光纤耦合器和光谱仪中各参数对系统性能造成的影响进行了分析,并通过ZEMAX光学仿真软件确定了较优的色散物镜和光谱仪的分光系统结构;然后对影响谱峰定位精度的因素进行了分析,通过处理算法比较确定了较优的谱峰定位方法;最后通过双频激光干涉仪对设计的系统进行标定和测量,实验结果表明系统在435 nm~655 nm波段,测量位移为1.9 mm,平均测量精度1.6μm。
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