【摘 要】
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首次在无DBR结构的商业外延波导晶片上实现了电泵横向腔光子晶体面发射激光器（LC-PCSEL）。深孔刻蚀技术使光子晶体深达2．6μm，穿透有源区，对有源区的模式直接调制。通过较小区域的
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(2012CB933501、2011CB922002);国家自然科学基金(61025025、61137003、60838003)
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首次在无DBR结构的商业外延波导晶片上实现了电泵横向腔光子晶体面发射激光器（LC-PCSEL）。深孔刻蚀技术使光子晶体深达2．6μm，穿透有源区，对有源区的模式直接调制。通过较小区域的光子晶体与FP腔的融合集成，利用带边模式Г2-1的横向振荡垂直输出特性，室温下获得了1553．8nm的面发射激光，线宽0．4nm。超低阈值电流密度为667A／cm^2，纵向和横向的远场发散角分别为7．5°和5．5°。LC-PCSEL的设计为电注入面发射激光器的研制提供了新的思路，为该类激光器的批量生产提供
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